產品詳情
用途
半導體與液晶製程設備
通用規格
電源電壓:DC12~24V±10%
消耗電流:最大 100mA
流體溫度:0~90℃(僅 SLK-053 型為 0~60℃)
使用環境溫度:0~50℃
使用環境濕度:95% RH 以下
精度:±2% FS(SLK-053 型為 20℃清水基準)
響應速度:約 1 秒
適用流體:純水、化學藥液等各類不侵蝕閥本體材質之流體
流量範圍:4~90L/min
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半導體與液晶製程設備
電源電壓:DC12~24V±10%
消耗電流:最大 100mA
流體溫度:0~90℃(僅 SLK-053 型為 0~60℃)
使用環境溫度:0~50℃
使用環境濕度:95% RH 以下
精度:±2% FS(SLK-053 型為 20℃清水基準)
響應速度:約 1 秒
適用流體:純水、化學藥液等各類不侵蝕閥本體材質之流體
流量範圍:4~90L/min